高精密光学系统

曝光光源系统：多波段混光技术：以特有的光波长配合方案，适应不同应用需求，不同光阻满足客户生产工艺；

集成高能量光源技术：可根据需求，满足大功率光学模组运行。

UV固化光源系统：采用UVLED光源替换现有汞灯光源，不影响原机台面板固化功能，具有出光率高，寿命长，

出度高，无污染，耗能少等特点。