超高压曝光光源

发布时间:2025-03-28 来源:苏州汇影光学技术有限公司

产品特点

  • 高亮度:能产生极高的光强,满足光刻等工艺对曝光能量的严格要求,确保光刻图案的清晰和精确。

  • 光谱特性:具有特定的光谱分布,其发射的紫外线波长范围与光刻胶的感光特性相匹配,例如常见的波长有 365nm、405nm 等,可根据不同的光刻工艺需求进行选择。

  • 稳定性好:在长时间工作过程中,能保持稳定的发光强度和光谱特性,保证曝光工艺的一致性和重复性。

  • 寿命较长:经过特殊设计和制造,具有相对较长的使用寿命,减少了频繁更换灯具对生产效率的影响。

应用领域

  • 半导体制造:在芯片制造过程中,用于光刻工艺,将集成电路图案转移到硅片等半导体材料上,是制造高精度芯片不可或缺的关键设备之一。

  • 平板显示:用于液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器(OLED)等平板显示器件的制造,对光刻图案的精度要求也很高,超高压曝光灯为其提供了稳定、高效的曝光光源。

  • 印制电路板(PCB)制造:在 PCB 制造中,通过光刻工艺将电路图案制作在覆铜板上,超高压曝光灯可满足其对曝光精度和效率的要求。

产品系列

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