边缘曝光设备

要用于Array制程边缘的紫外线固化。 要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态质量，在操作过程中操作者的视线要好. 所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。